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  • 微納電路蒸鍍系統(tǒng)TES150 產(chǎn)品型號:TES150
    微納電路蒸鍍系統(tǒng)
詳細內(nèi)容

基本參數(shù)

1、基片尺寸:6吋及以下;

2、樣品臺旋轉(zhuǎn):自轉(zhuǎn)速度010轉(zhuǎn)/分;

3、基片升降:樣品到蒸發(fā)源距離可調(diào),250-350mm

4、操作方式:全自動方式操作;

5、系統(tǒng)總控:人機界面及控制程序;

6、電源:220VAC/50Hz,10KW;

7、機器重量:530kg;

8、機器尺寸:D810mm× W1220mm×H1830mm。

 

蒸發(fā)源、電源及鍍膜室

1、蒸發(fā)源(金屬舟狀)1套;

2、金屬蒸發(fā)電源:2套,3KW/套,數(shù)字顯示,其中一套為切換蒸發(fā)電源;

3、蒸發(fā):水冷電極三組,配有交叉防污染板,自動擋板, 配兩套數(shù)顯蒸發(fā)電源功率為3KW;

4、真空室:圓柱形 304 不銹鋼腔體,正面開門結(jié)構(gòu);

5、極限真空:優(yōu)于 6.67*10-5 Pa;

6、真空系統(tǒng):采用 FF160/620 分子泵+6-8 /S 旋片式機械泵組成;

7、真空測量:一低一高數(shù)顯復合真空計,一只電阻規(guī)測量前級預抽低真空,一只電離規(guī)測量真空室高真空,全金屬規(guī)管;

8、抽氣時間:大氣壓~3*10-4 Pa40min;

9、恢復工作真空時間:≤35分鐘左右(新設(shè)備充干氮氣);

10、漏率:關(guān)機12小時真空度≤10Pa。

 

膜厚監(jiān)測及保護系統(tǒng)

1、配備膜厚監(jiān)測儀;

2、配備1支石英晶振水冷探頭;

3、設(shè)備保護系統(tǒng):對泵、電極等缺水、過流過壓、斷路等異常情況進行報警并執(zhí)行相應(yīng)保護;具備完善的邏輯程序互鎖保護系統(tǒng)。

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