成人国产精品免费观看视频,国产免费女人高潮流在线观看,国产高潮流白浆喷水免费视频,国产精品无码久久久午夜拍拍拍,摸BBB揉BBB揉BBB视频
  • 微納電路離子刻機(jī)IBE100 產(chǎn)品型號:IBE100
    微納電路離子刻機(jī)
詳細(xì)內(nèi)容

基本參數(shù)

1、刻蝕尺寸:4吋及以下;

2、刻蝕材料:單晶硅、多晶硅、SiO2Si3N4、AlW、Mo和金屬氧化物薄膜等;

3、離子束入射角:0~90°之間任意調(diào)整;

4Ar+離子能量范圍:150~950eV,連續(xù)可調(diào);

5、離子束流密度:0.1~0.9mA/cm2,連續(xù)可調(diào)

6、有效離子束直徑:≥Φ100mm;

7、刻蝕速率:0.05~0.8μm/min

8、中和裝置:帶有熱絲結(jié)構(gòu)的電子中和裝置;

9、操作方式:半自動(dòng)控制方式;

10、系統(tǒng)總控:人機(jī)界面及控制程序;

11、電源:220VAC/50Hz9KW;

12、機(jī)器重量:700kg;

13、機(jī)器尺寸: D810mm× W1520mm×H1830mm

 

電源及刻蝕反應(yīng)室

1、電源:直流電源。

2、反應(yīng)室:上蓋啟閉,操作方便,單室;

3、反應(yīng)室規(guī)格:Φ400300mm;

4、真空度:≤2×10-4 Pa(腔體充分烘烤除氣,去濕后);

5、抽氣時(shí)間:系統(tǒng)充干燥 N2解除真空后短時(shí)暴露,大氣壓~ 5×10-3 Pa 時(shí)間≤ 30min。

 

真空測量系統(tǒng)及氣體配置

1、真空計(jì):數(shù)顯復(fù)合真空計(jì) 1套,測量低真空和高真空;

2、供氣:Ar氣體,進(jìn)氣壓力0.40.6Mpa,工藝氣體純度為:99.999﹪。

 

冷卻系統(tǒng)

1、配備冷卻水循環(huán)系統(tǒng);

2、保護(hù)系統(tǒng):對泵、電極等缺水等異常情況進(jìn)行報(bào)警并執(zhí)行相應(yīng)保護(hù)。

  • 關(guān)于我們 企業(yè)簡介 企業(yè)文化 戰(zhàn)略合作 人才培養(yǎng)
  • 解決方案 工業(yè)機(jī)器人實(shí)訓(xùn)基地方案 創(chuàng)客教育與創(chuàng)客空間方案 電子工藝實(shí)訓(xùn)基地方案無人機(jī)技術(shù)實(shí)訓(xùn)基地方案
  • 慕課平臺 工業(yè)機(jī)器人 電子信息工程 嵌入式與物聯(lián)網(wǎng) 智能硬件
  • 快速鏈接 做中學(xué)APP 產(chǎn)教融合 moocdo課程 信息備案
  • 關(guān)注官方微信
©2004-2024 湖南科瑞特科技有限公司    湘ICP備10001081號-10
成人国产精品免费观看视频,国产免费女人高潮流在线观看,国产高潮流白浆喷水免费视频,国产精品无码久久久午夜拍拍拍,摸BBB揉BBB揉BBB视频