1、樣品尺寸：≤Φ150；

2、控溫范圍：室內(nèi)溫度~1200℃；

3、升溫速率：100℃/s；

4、控溫精度：±0.5℃(RT~1000℃) ，±1℃(1000~1200℃)；

5、溫度均勻性：≤1.5%設(shè)定溫度（石墨托盤）；

6、退火速率：1200℃→400℃，裸片是600℃/min（雙石墨盤是130℃/min）。400℃→100℃，裸片是20℃/min（雙石墨盤是10℃/min）（氮?dú)獯祾撸?/span>

7、退火溫區(qū)控制：有；

8、PID自整定：配置；

9、爐壁溫度監(jiān)測：有；

10水冷異常監(jiān)測：有；

11、真空度監(jiān)測：有。